400 0518 700
冷水机chiller系列
冷水机chiller

特殊液体冷水机系列（热交换器）

本产品是为晶圆清洗、刻蚀、等化学品保温开发的专用温控器，产品由电控单元与换热单元两部分组成，通过对采集到的热交换器内部的化学品循环液温度与设定温度的差异变化，进行 PID 控制运算，实现对化学品循环液温度的控制。
本产品适用化学液体（参考）：10~60℃碱性溶液（5%以下氨水，20%以下过氧化氢、50%以下氢氧化钠） 10~40℃酸性溶液（10%以下 HF，96%以下浓硫酸，5%以下盐酸、5%以下硝酸等） 使用混合液时需要提供混合比例，试验确认可行性。
与化学品接触材质符合 SIMI F57 要求。
半导体式冷水机系列
本款产品主要基于本司制冷片产品，利用帕尔贴效应进行升降温控制，区别于传统压缩机制冷 方式，该型水冷设备噪音小，无需添加冷媒，稳定控制状态节能环保，具备定时运转，低液位报警、 停电复归、水泵防冻、远程控制、数据可显可导等多种控制功能。
FCP30021A
FCP30021A
本设备性能优异，体积小、噪音低、耗电量低、热UG环球 - 官方网站高且可根据需求定制，控制精度可达0.05℃，适用于温 湿度控制良好的环境，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报 警功能，远程控制方便，可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。广泛应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。
FCP60022A
FCP60022A
本设备性能优异，体积小、噪音低、耗电量低、热UG环球 - 官方网站高且可根据需求定制，控制精度可达0.05℃，适用于温 湿度控制良好的环境，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报 警功能，远程控制方便，可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。广泛应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。
FCP30023W
FCP30023W
本设备性能优异，体积小、噪音低、耗电量低、热UG环球 - 官方网站高且可根据需求定制，控制精度可达0.05℃，适用于温 湿度控制良好的环境，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报 警功能，远程控制方便，可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。广泛应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。
FCP60024W
FCP60024W
本设备性能优异，体积小、噪音低、耗电量低、热UG环球 - 官方网站高且可根据需求定制，控制精度可达0.05℃，适用于温 湿度控制良好的环境，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报 警功能，远程控制方便，可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。广泛应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。
FCP60024L30W
FCP60024L30W
本设备性能优异，体积小、噪音低、耗电量低、热UG环球 - 官方网站高且可根据需求定制，控制精度可达0.05℃，适用于温 湿度控制良好的环境，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报 警功能，远程控制方便，可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。广泛应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。
FCP90026W
FCP90026W
本设备性能优异，体积小、噪音低、耗电量低、热UG环球 - 官方网站高且可根据需求定制，控制精度可达0.05℃，适用于温 湿度控制良好的环境，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报 警功能，远程控制方便，可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。广泛应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。
压缩机式冷水机系列
本设备为压缩机式冷水机，采用知名品牌压缩机，性能稳定且优异，出水口控温精度可达0.1℃，可选配组件实现多路输出，带多路负载，适用于温湿度控制良好的环境，节能环保，操作简单，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能，远程控制方便，可以实现I/O、RS232、RS485等多种不同通讯方式控制。
FCCA0152204
FCCA0152204
本设备为压缩机式冷水机，采用知名品牌压缩机，性能稳定且优异，出水口控温精度可达0.1℃，可选配组件实现多路输出，带多路负载，适用于温湿度控制良好的环境，节能环保，操作简单，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能，远程控制方便，可以实现I/O、RS232、RS485等多种不同通讯方式控制。
FCCA0242202
FCCA0242202
本设备为压缩机式冷水机，采用知名品牌压缩机，性能稳定且优异，出水口控温精度可达0.1℃，可选配组件实现多路输出，带多路负载，适用于温湿度控制良好的环境，节能环保，
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冷水机产品介绍手册
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体积小巧
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精确控温
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智能报警
智能报警
远程控制
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chiller系列产品优点
半导体制冷片（TEC），是由许多微小而有效的热泵组成的半导体器件。通过施加一个低压直流电，热量将从TEC的一面转移到另一面，从而产生TEC一面变冷另一面变热的现象，使用多对半导体原件串联形成制冷器单元，实现吸热，温度下降的现象，以其快速响应和冷热面转换来实现高精度的温度控制。
应用场景
  • 蚀刻装置 清洗机 显影机
    蚀刻装置 清洗机 显影机
  • 激光焊接机 激光器 激光打标机 金属3D打印
    激光焊接机 激光器 激光打标机 金属3D打印
  • 弧焊 实验测试机 工业加工中心
    弧焊 实验测试机 工业加工中心
  • 包装机 印刷机 医疗设备
    包装机 印刷机 医疗设备
蚀刻装置 清洗机 显影机
激光焊接机 激光器 激光打标机 金属3D打印
弧焊 实验测试机 工业加工中心
包装机 印刷机 医疗设备
蚀刻装置 清洗机 显影机
蚀刻装置 清洗机 显影机
激光焊接机 激光器 激光打标机 金属3D打印
激光焊接机 激光器 激光打标机 金属3D打印
弧焊 实验测试机 工业加工中心
弧焊 实验测试机 工业加工中心
包装机 印刷机 医疗设备
包装机 印刷机 医疗设备
Matrix diagram of applications in various fields
各领域的应用之矩阵图
该产品的生产基地