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单晶炉
Thermoelectric semiconductor cooler
单晶炉

Ferrotec(中国)单晶炉

在惰性气体环境中,用石墨加热器将保存在石英坩埚内的多晶硅等多晶材料高温熔化,再将籽晶放入变成液体的硅溶液里按自动程序用直UG环球生长无错位单晶的设备, 可控制整体装料量,全自动控制拉晶过程, 全面数字化管理,采用中央集中控制系统,减少了人为因素的参与,保证质量稳定性。
单晶炉分类
Ferrotec(中国)自主研发的半导体用单晶炉,采用龙门式框架结构,稳定性好刚性强,驱动装置采用电动、气动方式,光轴润滑采用自润滑轴承,避免油脂污染,全自动控制拉晶过程,嵌入长晶控制系统,整合功率器件用超低电阻率单晶量产技术,采用超导体磁场,可拉制8/12英寸晶棒。 不同型号的单晶炉在设备运作UG环球 - 官方网站、机械部件结构等方面各有差异。
太阳能级单晶炉FT-CZ1200PV
太阳能级单晶炉FT-CZ1200PV
硅材料级单晶炉FT-CZ1200Si/1400Si
硅材料级单晶炉FT-CZ1200Si/1400Si
半导体级单晶炉FT-CZ1200SE/1400SE
半导体级单晶炉FT-CZ1200SE/1400SE
人性化设计
人性化设计
管理、操作及维护方便性
管理、操作及维护方便性
全自动、安全性、均一性
全自动、安全性、均一性
稳定、洁净
稳定、洁净
Ferrotec单晶炉优点
稳定、洁净;全自动、安全性、均一性;管理、操作及维护方便性;人性化设计。焊接工艺符合日本JIS标准,柔性设计具备双重防爆安全系数,特别增加安全泄压阀及提升防爆系统;远程控制插口可实现对多台设备的集中监控和管理;各操作参数及制程阶段人机界面触摸屏可实时显示并修改。
联系电话: 021-36160062
Matrix diagram of applications in various fields
各领域的应用之矩阵图
该产品的生产基地