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精密洗净技术
精密洗净技术
为应对不断提升的半导体制程要求，依托美国、日本等技术支持，成功完成陶瓷溶射工艺的研发并量产，拥有国际先进的洗净生产线，努力抢占半导体、TFT产业技术制高点。
技术发展路线 技术设备能力 生产工艺 实用UG环球国家专利
  • 2000 年

    表面处理事业部成立

  • 2001 年

    成功研发并量产350nm线宽半导体PVD、CVD制程部品洗净工艺并着手研发半导体ETC部门部品洗净工艺

  • 2003 年

    成功研发并量产250nm线宽半导体PVD、CVD、ETC制程部品洗净工艺；建立独立实验室，研发半导体更精进洗净工艺

    着手研发DIF、LIT部门制程部品洗净工艺

  • 2005 年

    开始涉足TFT部品洗净，成功完成半导体各部门机台部品洗净工艺并标准化

  • 2007 年

    为多家半导体及TFT厂提供部品清洗服，完善TFT制程部品洗净工艺

  • 2011 年

    成立第一家子公司-----天津富乐德科技发展有限公司

  • 2013 年

    成功量产45nm线宽半导体制程部品洗净技术，成功量产8.5代线TFT部品清洗技术

  • 2015 年

    成立第二家子公司----四川富乐德科技发展有限公司，成功研发并量产28nm线宽半导体制程部品洗净技术

  • 2017 年

    第三家子公司----富乐德科技发展（大连）有限公司正式投入生产，研发并量产10.5代LCD部品洗净工艺；完善陶瓷溶射工艺并实现量产

    着手研发6代OLED制程部品洗净工艺，着手研发半导体16nm制程部品洗净工艺

  • 2018 年

    富乐德（大连）建立大连工厂表面处理分析实验室雏形，投入超声波断层扫描显微镜，CMM，He detector，电位滴定仪，LPC及ICP MS等高科技设

    并建立高纯石英线，高端设备上线